[实用新型]多晶硅还原炉电极棒分布结构有效
| 申请号： | 201120229699.0 | 申请日： | 2011-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN202131105U | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 郑飞龙;程佳彪;许国文;茅陆荣 | 申请（专利权）人： | 上海森松新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人： | 马育麟 |
| 地址： | 201323 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型多晶硅还原炉电极棒分布结构，包括底盘，所述底盘上设有进气口、电极座，所述电极座上安装有电极体，所述电极体上连接多晶硅棒，所述电极座在底盘上呈正多边形分布。本实用新型多晶硅还原炉电极棒分布结构，通过电极座、电极体、多晶硅棒的正多边形分布，以及进气口位于正多边形的中心位置，使得混合气进气均匀，流场稳定，进而使得还原炉内硅棒的生长均匀。同时，相同的多晶硅棒数量的前提下，可以有效减小多晶硅还原炉的直径，减小设备体积，降低设备制造成本并减少多晶硅厂房占地面积。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 电极 分布 结构 | ||
【主权项】：
多晶硅还原炉的电极棒分布结构，其特征在于，包括：底盘，所述底盘上设有进气口、电极座，所述电极座上安装有电极体，所述电极体上连接多晶硅棒， 其特征在于：所述电极座在底盘上呈正多边形分布。
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