[实用新型]用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置

摘要

本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置，在侧板上装有若干弹簧，弹簧上再装加热板，加热板为柔性加热板。柔性加热板由多层不同材料组成，最外侧为载体，然后依次是硅胶发泡板、加热元件、导热硅胶布、护板和导热硅胶板。载体为不锈钢板，护板为铝板，加热元件为镍铬丝加热元件。在铝板和不锈钢板上切割出多道增加铝板和不锈钢板弹性的缝。本实用新型的有益效果是：该侧板能使坩埚的每个区域都达到最佳的喷涂温度，提高喷涂质量，减少龟裂、起泡、针孔等问题的出现，提高多晶硅锭的收益率。

主权项

一种用于坩埚喷涂加热旋转台的侧板装置，其特征是：在侧板(3)上装有若干弹簧(5)，弹簧(5)上再装加热板(2)，加热板(2)为柔性加热板。