[实用新型]具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场有效
| 申请号： | 201120234885.3 | 申请日： | 2011-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN202202015U | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;傅林坚;石刚;叶欣;邱敏秀 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司;杭州慧翔电液技术开发有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 金祺 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及直拉式硅单晶炉中的热场结构技术，旨在提供一种具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场。在热场底部的圆周上均匀分布至少3个用于排出废气的排气管道，每个排气管道均具备以下结构：由导气横管、导气竖管和石英管依次连接组成，导气横管和导气竖管为石墨件；导气横管与导气竖管呈90°直角相接，且以平面接触方式配合；导气竖管与石英管相互对接，且以环形凸台方式配合；石英管与炉底板的排气孔以环形凸台方式配合。本实用新型增大了排气管道通径，提高了排气效率；减少了氧化物在排气管内的堆积；避免了氧化物堆积在下保温盖表面；简化了排气管道的清扫操作，提高了生产效率。以上因素都有利于提高硅单晶生长的成晶率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 多个均布 向下 排气 管道 直拉式硅单晶炉热场 | ||
【主权项】：
具有多个均布向下的排气管道的直拉式硅单晶炉热场，包括用于排出废气的排气管道；其特征在于，排气管道有至少3个，且在热场底部的圆周上均匀分布；每个排气管道均具备以下结构：由导气横管、导气竖管和石英管依次连接组成，导气横管和导气竖管为石墨件；导气横管与导气竖管呈90°直角相接，且以平面接触方式配合；导气竖管与石英管相互对接，且以环形凸台方式配合；石英管与炉底板的排气孔以环形凸台方式配合。
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