[实用新型]一种真空镀膜设备的真空室及真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201120234915.0 | 申请日： | 2011-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN202148346U | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | 刘洁雅 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种真空镀膜设备的真空室及真空镀膜设备，包括：加热源(1)、支柱(4)、多组传输机构与多块隔板(10)；每组传输机构包括传动轴(9)、两个轴承座(8)与多个滚轮(5)，传动轴(9)通过两个轴承座(8)安装于支柱(4)上，传动轴(9)上间隔固定滚轮(5)，滚轮(5)上还固定有橡胶圈(6)；隔板(10)通过螺钉(3)固定于支柱(4)上，隔板(10)上对应橡胶圈(6)的位置开有方孔(11)；其特征在于，所述的隔板(10)上在两传输机构间的位置设有凹槽(12)。有效解决了高温下隔板变形的问题。节约了成本。保证了基片传送系统的平稳运行以及镀膜环境的稳定性，确保了膜层质量，有效提高了真空镀膜设备的安全性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 设备 真空 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜设备的真空室，包括：加热源(1)、支柱(4)、多组传输机构与多块隔板(10)；每组传输机构包括传动轴(9)、两个轴承座(8)与多个滚轮(5)，传动轴(9)通过两个轴承座(8)安装于支柱(4)上，传动轴(9)上间隔固定滚轮(5)，滚轮(5)上还固定有橡胶圈(6)；隔板(10)通过螺钉(3)固定于支柱(4)上，隔板(10)上对应橡胶圈(6)的位置开有方孔(11)；其特征在于，所述的隔板(10)上在两传输机构间的位置设有凹槽(12)。
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