[实用新型]真空镀膜机用工件支承架有效
| 申请号： | 201120242043.2 | 申请日： | 2011-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN202187061U | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 程宗文 | 申请（专利权）人： | 程宗文 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 363300 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种真空镀膜机用工件支承架，包括两平行圆环，所述两圆环之间可拆连接有工件安装杆，其特征在于：所述两平行圆环上分别设有一水平角钢，两角钢之间连接有正负电极棒，所述两电极棒之间间隔设置有靶材安装座，该真空镀膜机用工件支承架结构简单，造价低廉，使用方便，镀膜效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 用工 支承 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机用工件支承架，包括两平行圆环，所述两圆环之间可拆连接有工件安装杆，其特征在于：所述两平行圆环上分别设有一水平角钢，两角钢之间连接有正负电极棒，所述两电极棒之间间隔设置有靶材安装座。
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