[实用新型]直拉硅单晶检测用测量道的制作装置有效
| 申请号： | 201120247003.7 | 申请日： | 2011-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN202144036U | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 赵娟 | 申请（专利权）人： | 西安华晶电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B23/02 | 分类号： | B24B23/02 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710077 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，包括水平固定在工作平台上且用于固定被检测硅单晶的U形槽和与U形槽相配合使用且在被检测硅单晶的晶体表面打磨测量道的打磨工具，被检测硅单晶为采用直拉法生产的单晶硅棒材；打磨工具包括传动轴、固定安装在传动轴前端部的角磨片、固定安装在传动轴后部的手持式把手和安装在手持式把手内且带动传动轴进行连续转动的电动驱动机构，传动轴与电动驱动机构之间通过传动机构进行传动连接，角磨片为在传动轴带动下在被检测硅单晶的晶体表面打磨测量道的磨头。本实用新型结构简单、设计合理、使用操作简便且使用效果好，硅单晶晶体表面测量道的制作过程易控，并且不会对外界环境造成任何污染。 | ||
| 搜索关键词： | 直拉硅单晶 检测 测量 制作 装置 | ||
【主权项】：
一种直拉硅单晶检测用测量道的制作装置，其特征在于：包括水平固定在工作平台(6)上且用于固定被检测硅单晶(1)的U形槽(2)和与U形槽(2)相配合使用且在被检测硅单晶(1)的晶体表面打磨测量道的打磨工具，所述被检测硅单晶(1)为采用直拉法生产的单晶硅棒材，所述U形槽(2)的内部结构和尺寸均与所述单晶硅棒材的结构和尺寸一致；所述打磨工具包括传动轴(3‑1)、固定安装在传动轴(3‑1)前端部的角磨片(3‑2)、固定安装在传动轴(3‑1)后部的手持式把手(3‑3)、安装在手持式把手(3‑3)内且带动传动轴(3‑1)进行连续转动的电动驱动机构和与所述电动驱动机构相接的供电电源(3‑4)，所述传动轴(3‑1)与所述电动驱动机构之间通过传动机构进行传动连接，所述角磨片(3‑2)为在传动轴(3‑1)带动下在被检测硅单晶(1)的晶体表面打磨所述测量道的磨头。
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