[实用新型]基板湿制程液体吸取装置

摘要

本实用新型为一种基板湿制程液体吸取装置，其包括一机台、多根架设在所述机台上的上输送轮轴与下输送轮轴、以及至少一架设在两相邻的上输送轮轴上的吸取器。当一待加工的基板经过所述上、下输送轮轴时，可使所述上输送轮轴配合所述基板顶面芯片的分布上、下移动，避免所述吸取器碰撞芯片，同时使所述吸取器保持贴近于所述基板的顶面，达到确实吸除所述基板顶面的液体的目的。

主权项

一种基板湿制程液体吸取装置，其特征在于：包括一机台、多根下输送轮轴、多根上输送轮轴以及至少一吸取器，其中：机台的两相对侧分别设有相互平行的侧壁，每一侧壁上间隔排列设有多个纵向延伸设置的导槽；下输送轮轴横向且间隔排列地设置在所述机台的两侧壁之间，每一下输送轮轴的两端分别可转动地穿设所述两侧壁的导槽，每一下输送轮轴上套设固定两下输送轮，所述两下输送轮分别位于靠近所述下输送轮轴的两端处；上输送轮轴横向且间隔排列地设置在所述机台的两侧壁之间，每一上输送轮轴的两端分别可转动并可上、下移动地穿设所述两侧壁的导槽，每一上输送轮轴上套设固定两上输送轮，所述两上输送轮分别对应且抵靠相对应的下输送轮的两下输送轮；吸取器架设在两相邻的上输送轮轴上，所述吸取器包含一吸除管及两侧架，所述吸除管为两端封闭的中空管体，且设在两相邻的上输送轮轴之间，所述吸除管的底部形成至少一吸入口，所述两侧架分别固设在所述吸除管的两端，每一侧架的底边间隔成型有两凹槽，所述两凹槽可分别容置所述两相邻的上输送轮轴。