[实用新型]一种单晶炉用电极的密封装置有效
| 申请号： | 201120253674.4 | 申请日： | 2011-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN202214453U | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 徐建军;钱荣林 | 申请（专利权）人： | 浙江荣马电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 舒良 |
| 地址： | 324300 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种单晶炉用电极的密封装置，在加热器下端面与炉底盘上端面之间的电极上设有内部密封保护圈组，在炉底盘下端面的电极上设有硬质材料密封保护圈和软质材料密封保护圈，且硬质材料密封保护圈的二面上分别开有凹槽，凹槽内分别设有软质材料密封保护圈。采用本实用新型，因硬质材料密封保护圈和软质材料密封保护圈位于炉底盘下端面，不易受热老化，可以提高单晶炉的密封效果，防止硅料氧化，达到提高成品率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 用电 密封 装置 | ||
【主权项】：
一种单晶炉用电极的密封装置，在加热器下端面与炉底盘上端面之间的电极上设有内部密封保护圈组，其特征在于在炉底盘下端面的电极上设有硬质材料密封保护圈和软质材料密封保护圈，且硬质材料密封保护圈的二面上分别开有凹槽，凹槽内分别设有软质材料密封保护圈。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江荣马电子科技有限公司，未经浙江荣马电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120253674.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种2-甲基喹啉的精制方法
- 下一篇：防止热套移位的夹具
