[实用新型]一种硅片脱胶装置

摘要

本实用新型提供了一种硅片脱胶装置，它包括前端板，后端板，两根上夹轴，两根下夹轴，前端板上设置两个上轴孔和两个下轴孔，后端板相应位置设置两个上轴孔和两个下轴孔，上轴孔之间的距离要大于下轴孔之间的距离，它还包括两根中夹轴，在前端板和后端板上对应位置上分别设置两个中轴孔，两个中轴孔之间的距离大于下轴孔之间的距离，且所述中夹轴上设置毛刷。本实用新型通过对脱胶装置进行改造，实现快速有效地脱胶，同时避免脱胶后硅片由于失去支撑的前后倾倒，撞击相邻硅片带来的质量及数量上的损失，有效地提高了硅片生产的良率。

主权项

一种硅片脱胶装置，它包括前端板(1)，后端板(2)，两根上夹轴(3)，两根下夹轴(4)，前端板(1)上设置两个上轴孔(5)和两个下轴孔(6)，后端板相应位置设置两个上轴孔(5)和两个下轴孔(6)，上轴孔(5)之间的距离要大于下轴孔(6)之间的距离，其特征在于：它还包括两根中夹轴(7)，在前端板和后端板上对应位置上分别设置两个中轴孔(8)，两个中轴孔(8)之间的距离大于下轴孔(6)之间的距离，且所述中夹轴(7)上设置毛刷(9)。