[实用新型]连续性镀膜生产线活动挡板装置

摘要

本实用新型公开了一种连续性镀膜生产线活动挡板装置，包括设置于真空镀膜室壳体内的活动挡板机构和调节机构。活动挡板机构包括与调节机构相连接的并在调节机构带动下转动的丝杆和通过螺母与丝杆相连接的挡板。本实用新型还公开了一种真空镀膜设备，该镀膜设备的真空镀膜室内部设置有上述活动挡板装置。采用本实用新型的活动挡板装置的真空镀膜设备在进行真空镀膜过程中出现膜厚不均匀时不需要破空，也无需关靶处理，可直接在真空镀膜室外部通过旋转转轴对挡板进行调节。由于挡板为三角形，挡板的上下运动量的不同所挡住的溅射区域的面积也是不同的，可以根据上下膜厚不均匀的情况，调节挡板上下运动量，以调节膜厚的均匀性。

主权项

一种连续性镀膜生产线活动挡板装置，其特征在于，包括：设置于真空镀膜室壳体内的活动挡板机构和与所述活动挡板机构相连接且一端伸出真空镀膜室壳体外部以便对活动挡板机构进行调节的调节机构，所述活动挡板机构包括与所述调节机构相连接的并在所述调节机构带动下转动的丝杆、螺合于丝杆上而可在丝杆带动下沿丝杆轴向移动的螺母以及与螺母固定连接的挡板。