[实用新型]蓝宝石单晶长晶炉有效
| 申请号： | 201120257053.3 | 申请日： | 2011-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN202226961U | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 庄育丰 | 申请（专利权）人： | 庄育丰 |
| 主分类号： | C30B15/26 | 分类号： | C30B15/26;C30B15/20;C30B29/20 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 秦士魁 |
| 地址： | 中国台湾桃园*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蓝宝石单晶长晶炉，包括有真空炉体，真空炉体内设有坩埚，坩埚外缘设有加热组件，加热组件外缘设有隔热装置，坩埚设有旋动件，旋动件链接外部旋动装置，坩埚上端设有拉起件，拉起件链接外部拉起装置及旋动装置，真空炉体具有进气孔及排气孔，分别连通外部气体供应装置及排气装置，真空炉体外部具有中央控制装置，分别链接排气装置，链接气体供应装置提，链接拉起装置及旋动装置以控制拉起件，链接加热组件电源，及链接旋动装置以控制坩埚的旋转，真空炉体与隔热装置间设有冷却槽，冷却槽上端具有冷却液入口连通冷却液供给装置，冷却槽下端具有冷却液出口连通排液装置，以隔绝、冷却真空炉体，避免设在真空炉体外部装置受损。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 单晶长晶炉 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石单晶长晶炉，其主要包括有一真空炉体，该真空炉体内设有坩埚，坩埚外缘设有加热组件，加热组件外缘设有隔热装置，所述坩埚设有旋动件，旋动件链接外部旋动装置，坩埚上端设有拉起件，拉起件链接外部拉起装置及使拉起件旋转的旋动装置，拉起件下端置有籽晶，该真空炉体具有进气孔及排气孔，并分别连通外部气体供应装置及排气装置，真空炉体外部并具有中央控制装置，分别链接对炉内抽真空的排气装置，链接气体提供炉内气氛气体的供应装置，链接拉起装置及旋动装置控制拉起件的拉升及旋转，链接加热组件电源使加热组件对坩埚加热，及链接旋动装置以控制坩埚的旋转，其特征在于：该真空炉体与隔热装置间设有冷却槽，冷却槽上端具有冷却液入口连通冷却液供给装置，冷却槽下端具有冷却液出口连通排液装置。
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