[实用新型]配置有可充气支撑件模块的前开式晶圆盒

摘要

本实用新型公开了一种前开式晶圆盒，包括一盒体，由一对侧壁、一顶面及一底面所组成，并于一侧边形成一开口，而相对开口的另一侧边形成一后壁，同时于每一侧壁上各配置一支撑件模块，以容置多个晶圆；以及一门体，以一内表面与盒体的开口相结合，并用以保护盒体内部的多个晶圆，其中前开式晶圆盒的特征在于：盒体的每一侧壁与后壁相邻的地方，各配置一可充气支撑件模块，可充气支撑件模块的面对开口方向上，再配置有一长缝，并于长缝中配置有一多孔性材质材料，且于可充气支撑件模块的一端配置一进气口与底面的一气阀连接，其中可充气支撑件模块由多个垂直间隔排列的支撑肋所组成。

主权项

一种前开式晶圆盒，包括一盒体，由一对侧壁及相邻该对侧壁的一顶面及一底面所组成，并于一侧边形成一开口，而相对该开口的另一侧边形成一后壁，同时于该对侧壁上各配置一支撑件模块以容置多个晶圆，并于该对侧壁与该后壁相邻处各配置一可充气支撑件模块，以及一门体，具有一外表面及一内表面，该门体以该内表面与该盒体的该开口相结合，用以保护该盒体内部的该多个晶圆，其的特征在于：该前开式晶圆盒：该盒体的该对侧壁与该后壁相邻之处，各配置一可充气支撑件模块，该可充气支撑件模块的面对该开口方向上配置有一长缝，且于该长缝中配置有一多孔性材质材料，且该可充气支撑件模块的一端配置一进气口与该底面的一气阀连接，其中该可充气支撑件模块由多个垂直间隔排列的支撑肋所组成。