[实用新型]电阻加热式蒸发源有效
| 申请号： | 201120260711.4 | 申请日： | 2011-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN202246836U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 程丙勋;邱承彬;张辉 | 申请（专利权）人： | 上海奕瑞光电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新区张江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种电阻式加热蒸发源，所述蒸发源包括容纳蒸发物料（P）并设有坩埚蒸发口（11A）的坩埚（11）、围绕在所述坩埚（11）外围的加热单元、以及包围所述加热单元的源外壁（14）和蒸发源底部（16）；所述加热单元包括位于坩埚蒸发口（11A）外围，用于保证坩埚蒸发口（11A）的温度高于蒸发物料（P）凝点并独立控温的上部加热单元（12A）、位于坩埚（11）主体部分外围独立控温的下部加热单元（12）。本装置由于在坩埚蒸发口（11A）附近设置了独立的上部加热单元（12A），可以杜绝蒸发物料在坩埚口部的凝结。同时由于采用了分段独立式的加热方式，从而防止局部加热不均匀引起物料飞溅到基片引起的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 加热 蒸发 | ||
【主权项】：
一种电阻式加热蒸发源，其特征在于：所述蒸发源包括容纳蒸发物料(P)并设有坩埚蒸发口(11A)的坩埚(11)、围绕在所述坩埚(11)外围的加热单元、以及包围所述加热单元的源外壁(14)和蒸发源底部(16)；所述加热单元包括位于坩埚蒸发口(11A)外围，用于保证坩埚蒸发口(11A)的温度高于蒸发物料(P)凝点并独立控温的上部加热单元(12A)、位于坩埚(11)主体部分外围独立控温的下部加热单元(12)。
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