[实用新型]精密纳米压痕测试装置

摘要

本实用新型涉及一种精密纳米压痕测试装置，属于精密科学仪器领域。主要由精密压入驱动单元、载荷信号和位移信号的检测单元、载物台组成；精密压入驱动单元由音圈电机、连接件、导轨、滑块组成，其中音圈电机和导轨安装在底座上，检测金刚石压头压入材料压力的精密力学传感器通过侧板Ⅰ安装在底座上，用于检测金刚石压头压入深度精密位移传感器通过侧板Ⅱ安装在底座上，载物台安装在精密力学传感器上，金刚石压头安装在连接板上，连接板通过螺钉装配在滑块上。优点在于：结构简单、加工方便、体积较小，定位精度高、响应迅速、并且可以在电镜下原位观测压入过程中材料的变形过程和损伤机理，从而更加直观的了解材料的微纳米力学性能。

主权项

一种精密纳米压痕测试装置，其特征在于：包括精密压入驱动单元、载荷信号检测单元和位移信号的检测单元；所述精密压入驱动单元包括音圈电机（14）、连接件（13）、连接板（1）、导轨（7）及滑块（8），该音圈电机（14）、导轨（7）分别固定在底座（6）上，连接件（13）与音圈电机（14）相连接，该连接件（13）通过螺栓与连接板（1）相连接，连接板（1）连接在滑块（8）上，该滑块（8）与导轨（7）滑动连接；所述载荷信号检测单元包括金刚石压头（2）、载物台（3）、精密力学传感器（4）及侧板Ⅰ（5），该精密力学传感器（4）通过侧板Ⅰ（5）固定在底座（6）上，载物台（3）与精密力学传感器（4）连接，金刚石压头（2）固定在连接板（1）上；所述位移信号检测单元包括侧板Ⅱ（11）及光栅传感器的光栅尺（12）和读数头（10），该读数头（10）通过螺栓与侧板Ⅱ（11）连接，该侧板Ⅱ（11）固定在底座（6）上；光栅尺（12）通过连接片（9）与连接件（13）粘接。