[实用新型]全自动太阳能硅片扩散前清洗设备有效
| 申请号： | 201120265190.1 | 申请日： | 2011-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN202180065U | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 马跃;史大建;周晓东;金佳源;沈专 | 申请（专利权）人： | 韩华新能源（启东）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08 |
| 代理公司： | 南通市永通专利事务所 32100 | 代理人： | 葛雷 |
| 地址： | 226200 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种全自动太阳能硅片扩散前清洗设备，包括上料台、微机控制系统、触摸屏，上料台后依次设置溢流预清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、热慢提拉槽、循环热风烘干装置，在循环热风烘干装置后设置下料台，酸洗槽与在线加热装置连接，溢流预清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、热慢提拉槽、循环热风烘干装置均固定于机架上，在机架一侧的滑轨上装单臂移载式机械手。本实用新型结构合理，在清洗设备的酸洗（HF）工序前增加DIWater溢流预清洗，以提高酸洗工序前硅片的表面洁净度，提高酸洗的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 太阳能 硅片 扩散 清洗 设备 | ||
【主权项】：
一种全自动太阳能硅片扩散前清洗设备，包括上料台、微机控制系统、触摸屏，其特征是：上料台后依次设置溢流预清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、热慢提拉槽、循环热风烘干装置，在循环热风烘干装置后设置下料台，酸洗槽与在线加热装置连接，溢流预清洗槽、酸洗槽、第一溢流清洗槽、第二溢流清洗槽、热慢提拉槽、循环热风烘干装置均固定于机架上，在机架一侧的滑轨上装单臂移载式机械手。
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