[实用新型]防倒流装置及排气装置有效
| 申请号： | 201120265403.0 | 申请日： | 2011-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN202144891U | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 许亮 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F16K15/04 | 分类号： | F16K15/04;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种防倒流装置，设于泵和反应腔之间的连接管内，所述防倒流装置包括一阀座体和若干单向阀，所述若干单向阀设置于阀座体上。本实用新型还公开了一种排气装置，用于对反应腔进行排气，包括泵和连接管，所述泵通过连接管和反应腔连接，还包括如上所述的防倒流装置，所述防倒流装置设于所述连接管内。本实用新型通过在连接管上设置防倒流装置，一方面，所述若干单向阀可以保证反应腔内的气体流入到泵中；另一方面，所述若干单向阀可以防止泵中的带颗粒物质的气体倒流到反应腔内，保证反应腔内的气体洁净度，确保工艺的稳定性，最终提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 倒流 装置 排气装置 | ||
【主权项】：
一种防倒流装置，设于泵和反应腔之间的连接管内，其特征在于，所述防倒流装置包括一阀座体和若干单向阀，所述若干单向阀设置于所述阀座体上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120265403.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种轴流式水流调节阀
- 下一篇：汽车循环球液压助力转向器扇齿轴输出端密封装置
