[实用新型]膜厚检测探头结构有效
| 申请号： | 201120265430.8 | 申请日： | 2011-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN202229742U | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 李正贤;丁天祥 | 申请（专利权）人： | 上海卓晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B17/02 | 分类号： | G01B17/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种膜厚检测探头结构，包括一工作台，其中，所述工作台的正上方设有一垂直设置的超声波探头。本实用新型膜厚检测探头结构，通过该装置能够自动对基片的缺陷和污染进行探测，减少人工检测导致的精度不高的问题，能有有效地提高产品的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 探头 结构 | ||
【主权项】：
一种膜厚检测探头结构，包括一工作台，其特征在于，所述工作台的正上方设有一垂直设置的超声波探头。
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