[实用新型]还原炉出气孔分气帽有效
| 申请号： | 201120270718.4 | 申请日： | 2011-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN202208642U | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 冯谨;段沙沙;李延辉 | 申请（专利权）人： | 河北东明中硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;F27D7/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 李荣文 |
| 地址： | 052360 河北省石*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种还原炉出气孔分气帽，其特征在于所述还原炉出气孔分气帽由圆锥体形分流帽和周壁上设有进气孔、底面设有出气孔以及出气管的排气管道组成。由于所述分气帽的上端设有圆锥体形分流帽，增加了气体在还原炉内流动的路径，避免了还原炉外圈硅芯根部HCl富集的现象，从根本上解决了多晶硅生长初期倒炉的可能，保证气体在还原炉内停留的时间，使反应更加充分，增大三氯氢硅的转化率；而且由于所述分流帽将还原炉出气孔挡住，避免出炉时因操作不当，块状多晶硅掉进出气孔的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 还原 气孔 分气帽 | ||
【主权项】：
一种还原炉出气孔分气帽，其特征在于所述还原炉出气孔分气帽由圆锥体形分流帽（1）和周壁上设有进气孔（2）、底面设有出气孔（3）以及出气管（4）的排气管道（5）组成。
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