[实用新型]一种多晶硅系统用氢压机系统有效
| 申请号： | 201120270721.6 | 申请日： | 2011-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN202201712U | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 陈骏;杨刊;孟昱良 | 申请（专利权）人： | 河北东明中硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 李荣文 |
| 地址： | 052360 河北省石*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多晶硅系统用氢压机系统，包括进气系统、氢压机、排气系统。氢压机从左向右依次为油池、气封仓、泄漏仓、压缩气缸，活塞杆在四个腔体中运动。进气系统包括第一管道（12）、第二管道（13）、第五管道（14）；排气系统包括第三管道（15）、第四管道（16）；第一管道（12）一端连接氮气储罐，一端连接气封仓，第二管道（13）一端与第一管道（12）连接，一端连接氢气储罐，第四管道（16）的一端连接泄漏仓，一端连接尾气淋洗系统，第三管道（15）一端与第四管道（16）连接，一端连接检测中心。本实用新型避免了三氯氢硅进入油池，也减小了多晶硅系统中进入杂质的可能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 系统 用氢压机 | ||
【主权项】：
一种多晶硅系统用氢压机系统，包括进气系统、氢压机、排气系统，所述氢压机包括油池（1）、气封仓（2）、泄漏仓（3）、压缩气缸（4）四个腔体及活塞，油池（1）的右侧连接气封仓（2）、气封仓（2）的右侧连接泄漏仓（3）、泄漏仓（3）的右侧连接压缩气缸（4），活塞杆在所述四个腔体中运动，其特征在于：所述进气系统包括第一管道（12）、第二管道（13）；所述第一管道（12）上有第一阀门（6）和第二阀门（8）；所述第二管道（13）上有第三阀门（9）；所述第一管道（12）靠近第一阀门（6）的一端连接氮气储罐，靠近第二阀门（8）的一端连接气封仓（2）；所述第二管道（13）在第二阀门（8）与气封仓之间通过三通与第一管道（12）连接，另一端连接氢气储罐；所述排气系统包括第三管道（15）、第四管道（16）；所述第三管道（15）上有第四阀门（10）；所述第四管道（16）上有第五阀门（11）；所述第四管道（16）的一端连接泄漏仓（3），另一端连接尾气淋洗系统；所述第三管道（15）在第五阀门（11）与泄漏仓（3）之间通过三通与第四管道（16）连接，另一端连接检测中心。
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