[实用新型]内置冷阴极规管的真空灭弧室真空度测量装置

摘要

本实用新型是一种内置冷阴极规管的真空灭弧室真空度测量装置。它包括真空灭弧室主体、电源、冷阴极真空规管与测量电路，冷阴极真空规管封装于真空灭弧室内部，冷阴极真空规管封接在真空灭弧室静端盖板的内侧，与真空灭弧室成为一体，在灭弧室的静端盖板引出测量电极；阴极为两块不锈钢平板并相对放置；中间的是框形阳极，与静端盖板上的阳极引出极连接；外加磁场垂直于电极平面，磁场由钕铁硼永磁体提供，永磁体位于两块平板阳极外侧和规管圆柱形外壳之间的空间。本实用新型适用于真空灭弧室直径大于120mm的所有电压等级的真空灭弧室，适用于外壳材料是玻璃或陶瓷的真空灭弧室。

主权项

一种内置冷阴极规管的真空灭弧室真空度测量装置，包括真空灭弧室主体、电源、冷阴极真空规管与测量电路，其特征在于：冷阴极真空规管封装于真空灭弧室内部，冷阴极真空规管封接在真空灭弧室静端盖板的内侧，与真空灭弧室成为一体，在灭弧室的静端盖板引出测量电极；阴极为两块不锈钢平板并相对放置；中间的是框形阳极，与静端盖板上的阳极引出极连接；外加磁场垂直于电极平面，磁场由钕铁硼永磁体提供，永磁体位于两块平板阳极外侧和规管圆柱形外壳之间的空间。