[实用新型]单晶炉接晶盘自动旋转装置有效
申请号: | 201120278547.X | 申请日: | 2011-08-02 |
公开(公告)号: | CN202175753U | 公开(公告)日: | 2012-03-28 |
发明(设计)人: | 蒋剑;吴世海;赵建峰 | 申请(专利权)人: | 西安理工晶体科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 710077 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉接晶盘自动旋转装置,包括U型接晶盘,U型接晶盘的底板上设置有缓冲套,缓冲套对应副炉室内径中心线位置设置,在副炉室的两侧分别安装有随动轴安装底板和气缸安装底板;U型接晶盘一边端面与随动端轴套的外端连接,随动端轴套通过法兰轴承套装在随动轴上,随动轴安装在随动轴安装底板上;U型接晶盘另一边端面与气缸端轴套连接,气缸端轴套通过键与回转气缸的输出轴连接,回转气缸与气缸过渡板连接,气缸过渡板与气缸安装底板连接。本实用新型装置采用气动控制装置,实现U型接晶盘自动旋转动作、消除了安全隐患、生产效率明显提高。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉接晶盘 自动 旋转 装置 | ||
【主权项】:
一种单晶炉接晶盘自动旋转装置,其特征在于:包括U型接晶盘(1),U型接晶盘(1)的底板上设置有缓冲套(13),缓冲套(13)对应副炉室内径中心线位置设置,在副炉室(7)的两侧分别安装有随动轴安装底板(6)和气缸安装底板(8);U型接晶盘(1)一边端面与随动端轴套(2)的外端连接,随动端轴套(2)通过法兰轴承(3)套装在随动轴(5)上,随动轴(5)安装在随动轴安装底板(6)上;U型接晶盘(1)另一边端面与气缸端轴套(11)连接,气缸端轴套(11)通过键(12)与回转气缸(10)的输出轴连接,回转气缸(10)与气缸过渡板(9)连接,气缸过渡板(9)与气缸安装底板(8)连接。
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