[实用新型]氯硅烷负压回收装置有效
| 申请号： | 201120279762.1 | 申请日： | 2011-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN202208646U | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 张新;王璜;卢涛 | 申请（专利权）人： | 乐山乐电天威硅业科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所 51124 | 代理人： | 王睿 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种低成本、环保的氯硅烷回收装置。该装置包括顺序连接的第一贮罐、负压蒸发器和第二贮罐，该负压蒸发器的输出端与第二贮罐的输入端之间设有抽气机，该抽气机将负压蒸发器中的氯硅烷气体抽入第二贮罐从而使该负压蒸发器内的气压小于第一贮罐内的气压并保持在20KPa的绝对压力值以下。本装置不消耗热能，不需要使用循环水等冷却介质，氯硅烷回收流程相对简单，可节约大量辅助设备、管道等，并且设备运行温度较低，避免了高温时氯硅烷强腐蚀性对设备材质的高要求，因此设备材质要求较低，设备一次投资较少。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 回收 装置 | ||
【主权项】：
氯硅烷负压回收装置，其特征在于：该装置包括顺序连接的第一贮罐(4)、负压蒸发器(7)和第二贮罐(11)，该负压蒸发器(7)的输出端与第二贮罐(11)的输入端之间设有抽气机(8)，该抽气机(8)将负压蒸发器(7)中的氯硅烷气体抽入第二贮罐(11)从而使该负压蒸发器(7)内的气压小于第一贮罐(4)内的气压并保持在20KPa的绝对压力值以下。
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