[实用新型]DC等离子体系统有效
| 申请号： | 201120280506.4 | 申请日： | 2011-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN202871740U | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | M·戈兰;P·瓦赫;M·泽莱乔斯基 | 申请（专利权）人： | 许廷格电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;韩宏 |
| 地址： | 波兰*** | 国省代码： | 波兰;PL |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种DC等离子体系统(1)，包括连接到等离子体腔室(5)的阴极(K)和阳极(A)的DC电源(2)，其中所述等离子体腔室(5)的所述阳极(A)在等离子体处理期间电浮置，提供连接在阳极电势与等离子体腔室电势之间的开关(S)，其通常连接到保护地(PE)。 | ||
| 搜索关键词： | dc 等离子体 系统 | ||
【主权项】：
一种DC等离子体系统(1)，包括连接到等离子体腔室(5)的阴极(K)和阳极(A)的DC电源(2)，其中所述等离子体腔室(5)的所述阳极(A)在等离子体处理期间电浮置，其特征在于，还包括连接在阳极电势与等离子体腔室电势之间的开关(S)。
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