[实用新型]循环利用氩气的多晶硅铸定炉联机系统有效
| 申请号： | 201120283848.1 | 申请日： | 2011-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN202226962U | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 杜海文;周社柱;张军彦;侯炜强;王锋;于丽君 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二研究所 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 山西科贝律师事务所 14106 | 代理人： | 陈奇 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种循环利用氩气的多晶硅铸定炉联机系统，解决了现有的多晶硅铸锭炉在生产过程中存在生产成本高，污染环境严重和电力消耗大的问题。包括多台多晶硅铸定炉（1）和气站氩气管路（18），多晶硅铸定炉（1）均与共用的联机真空泵（8）连通，联机真空泵（8）通过氩气回收缓冲罐（10）、缓冲阀（11）、氩气净化单元（12）、增压泵（13）与净化氩气储气罐（14）连通，净化氩气储气罐（14）与回用氩气总管路（16）连通，回用氩气支管路（19）与多晶硅铸定炉（1）上设置的质量流量控制器（4）的输入口连通。本实用新型还公开了氩气回用的具体生产工艺。本实用新型减少了电力消耗，降低工艺气体氩气的消耗，直接降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 循环 利用 多晶 硅铸定炉 联机 系统 | ||
【主权项】：
一种循环利用氩气的多晶硅铸定炉联机系统，包括多台多晶硅铸定炉（1）和气站氩气管路（18），每台多晶硅铸定炉（1）上均设置有质量流量控制器（4）、比例阀（2）和控制系统（3），气站氩气管路（18）分别与每台多晶硅铸定炉（1）的质量流量控制器（4）的输入口连通，在每台多晶硅铸定炉（1）的比例阀（2）的输出口上连接有自带真空泵（5），其特征在于，在每台多晶硅铸定炉（1）的比例阀（2）的输出口上均分别设置有联机抽真空管（6），每个联机抽真空管（6）均与共用的联机真空泵（8）连通，在联机抽真空管（6）上设置有联机抽真空阀（7），联机真空泵（8）的抽出氩气排出管（9）依次通过氩气回收缓冲罐（10）、缓冲阀（11）、增压泵（13）与氩气净化单元（12）连通，氩气净化单元（12）与净化氩气储气罐（14）连通，净化氩气储气罐（14）的输出口通过氩气回用阀（15）与回用氩气总管路（16）连通，在回用氩气总管路（16）与每台多晶硅铸定炉（1）之间均分别设置有回用氩气支管路（19），回用氩气支管路（19）与多晶硅铸定炉（1）上设置的质量流量控制器（4）的输入口连通，在回用氩气支管路（19）上设置有氩气回用支路阀（17）。
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