[实用新型]大容积等离子化学气相沉积反应腔的抽真空系统

摘要

本实用新型一种大容积等离子化学气相沉积反应腔的抽真空系统，包括反应腔和分子泵，还包括缓冲腔，所述分子泵与缓冲腔相连，缓冲腔通过连接管路与所述反应腔相连，并在连接管路上设有开关阀，缓冲腔还与前级真空泵相连。本实用新型大容积等离子化学气相沉积反应腔的抽真空系统，通过在反应腔与分子泵间加缓冲腔，使缓冲腔处于真空状态，可以使分子泵很快达到最大转速，节省对反应腔抽高真空的时间。

主权项

一种大容积等离子化学气相沉积反应腔的抽真空系统，包括反应腔和分子泵(2)，其特征在于，还包括缓冲腔(1)，所述分子泵(2)与缓冲腔(1)相连，缓冲腔通过一连接管路(5)与所述反应腔相连，并在所述连接管路(5)上设有开关阀(4)，缓冲腔(1)还与前级真空泵(3)相连。