[实用新型]溅射设备有效
| 申请号： | 201120291175.4 | 申请日： | 2011-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN202187058U | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 黄秋平 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜;王莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及液晶显示器制作技术领域，特别涉及一种溅射设备，包括承载机、中间腔体、换轨腔体及托盘，所述承载机、中间腔体、换轨腔体成顺序设置，中间腔体两端分别与承载机与换轨腔体相连，所述托盘设置于所述承载机、中间腔体和换轨腔体上；所述承载机和换轨腔体的上部均设置磁导轨，所述承载机的磁导轨的底部右端设置有卡槽，所述换轨腔体的底部左端设置有卡槽，所述托盘两侧的顶部设置有卡扣，所述卡槽与卡扣能卡合形成固定装置。本实用新型能够减少玻璃基板在溅射成膜工艺中振幅过大，震动过多等问题，降低了玻璃基板的破碎损坏几率。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 设备 | ||
【主权项】：
一种溅射设备，包括承载机、中间腔体、换轨腔体及托盘，所述承载机、中间腔体、换轨腔体成顺序设置，中间腔体两端分别与承载机与换轨腔体相连；所述托盘设置于所述承载机、中间腔体和换轨腔体上；所述承载机和换轨腔体的上部均设置有磁导轨，其特征在于，所述承载机、换轨腔体的磁导轨底部与托盘两侧的顶部卡合成固定装置。
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