[实用新型]晶圆清洗装置以及化学机械研磨设备有效
| 申请号： | 201120294010.2 | 申请日： | 2011-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN202174489U | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 陈枫 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆清洗装置以及化学机械研磨设备，所述晶圆清洗装置包括主管道、第一支管道、第二支管道、第一清洗液输送管和第二清洗液输送管；所述第一支管道的一端与主管道转动连接，且与主管道相通，所述第一支管道的另一端设有软刷式喷头；所述第二支管道的一端与主管道转动连接，且与主管道相通；所述第一清洗液输送管设置在第一支管道及主管道内，所述第一清洗液输送管的一端与软刷式喷头连接；所述第二清洗液输送管设置在第二支管道及主管道内，在所述第二支管道内的一段第二清洗液输送管上设有多个喷嘴，所述多个喷嘴穿过第二支管道伸出第二支管道外。所述晶圆清洗装置可对晶圆进行充分清洗，且不损伤晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 以及 化学 机械 研磨 设备 | ||
【主权项】：
一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括主管道、第一支管道、第二支管道、第一清洗液输送管和第二清洗液输送管；其中，所述第一支管道的一端与所述主管道转动连接，且与所述主管道相通，所述第一支管道的另一端设有软刷式喷头；所述第二支管道的一端与所述主管道转动连接，且与所述主管道相通；所述第一清洗液输送管设置在所述第一支管道及主管道内，所述第一清洗液输送管的一端与所述软刷式喷头连接；所述第二清洗液输送管设置在所述第二支管道及主管道内，在所述第二支管道内的一段第二清洗液输送管上设有多个喷嘴，所述多个喷嘴穿过所述第二支管道伸出所述第二支管道外。
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