[实用新型]降低多晶硅片翘曲度的装置有效
| 申请号： | 201120294248.5 | 申请日： | 2011-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN202208778U | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 江笠 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/14 | 分类号： | C30B28/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201617 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种降低多晶硅片翘曲度的装置，包括反应炉管，其特征在于，所述反应炉管底部设置有弥散管，弥散管两端均设置有进口；弥散管管壁上设置有多个通孔；弥散管通过通孔与反应炉管连通。本实用新型通过选择合适的装置，在硅片表面生长多晶薄膜后，WARP增加量最小可达到5.35。且硅片的均匀性也能达到使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 降低 多晶 硅片 曲度 装置 | ||
【主权项】：
降低多晶硅片翘曲度的装置，包括反应炉管，其特征在于，所述反应炉管底部设置有弥散管，弥散管两端均设置有进口；弥散管管壁上设置有多个通孔；弥散管通过通孔与反应炉管连通。
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