[实用新型]一种基于PZT与双光楔的激光加工倒锥孔的扫描装置有效
申请号: | 201120299289.3 | 申请日: | 2011-08-16 |
公开(公告)号: | CN202224848U | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 李明;张晓;程光华;杨小君;赵卫 | 申请(专利权)人: | 中科中涵激光设备(福建)股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/06 |
代理公司: | 西安西交通盛知识产权代理有限责任公司 61217 | 代理人: | 陈翠兰 |
地址: | 351117 福建省莆田*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种基于PZT与双光楔的激光加工倒锥孔的扫描装置,包括一个激光器和一个待加工的工件,在所述激光器出射激光束面上设有一块偏振分光棱镜,与偏振分光棱镜反射的激光束相对应处设有一个PZT光学平台,在PZT光学平台与偏振分光棱镜之间以及偏振分光棱镜的下方分别设有四分之一波片;偏振分光棱镜的下方间隔四分之一波片依次垂直分布有双光楔、聚焦物镜和工件。该装置能够驱动PZT光学平台运动实现出射光束扫描出圆轨迹,通过间隔设置的双光楔调节其相互间隔并与PZT光学平台同步运动,可实现光束产生一定的横向位移,从而实现微米级孔径的倒锥孔加工。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 pzt 双光楔 激光 加工 倒锥孔 扫描 装置 | ||
【主权项】:
一种基于PZT与双光楔的激光加工倒锥孔的扫描装置,包括一个激光器(1)和一个待加工的工件(7),其特征在于:在所述激光器(1)出射激光束面上设有一块偏振分光棱镜(2),与偏振分光棱镜(2)反射的激光束相对应处设有一个PZT光学平台(4),在PZT光学平台(4)与偏振分光棱镜(2)之间以及偏振分光棱镜(2)的下方分别设有四分之一波片(3);偏振分光棱镜(2)的下方间隔四分之一波片(3)依次垂直分布有双光楔(5)、聚焦物镜(6)和工件(7)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中科中涵激光设备(福建)股份有限公司,未经中科中涵激光设备(福建)股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201120299289.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。