[实用新型]一种压力敏感芯体有效
| 申请号： | 201120299394.7 | 申请日： | 2011-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN202255734U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 何迎辉;谢贵久;谢锋 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南省长*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种压力敏感芯体，属于薄膜应变式压力传感器领域，为了解决现有的压力传感器难准确测试高于150℃或低于-55℃温度环境下的压力值,或测量精度与长期可靠性不高的问题,所述压力敏感芯体有固支的平膜片，该平膜片包括最大压应变区、最大拉应变区和非应变区，在所述最大压应变区、最大拉应变区各设两个应变电阻，该四个应变电阻组成惠斯登全桥应变电路，所述非应变区设有灵敏度温度补偿铂电阻和引线导电孔。本实用新型测量精度高、可靠性好，测量精度高达0.2级，可在液氮温度～175℃温度范围内高精度、长期可靠测量压力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力 敏感 | ||
【主权项】：
一种压力敏感芯体，有固支的平膜片（2），该平膜片（2）包括最大压应变区（3）、最大拉应变区（4）和非应变区（5），在所述最大压应变区（3）、最大拉应变区（4）各设两个应变电阻（6），该四个应变电阻（6）组成惠斯登全桥应变电路，其特征是，所述非应变区（5）设有灵敏度温度补偿铂电阻（8）和引线导电孔（9）。
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