[实用新型]一种高效节能的多晶硅制备装置有效
| 申请号： | 201120303672.1 | 申请日： | 2011-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN202246080U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 江宏富 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高效节能的多晶硅制备装置，包括由反应器内衬和外壳限定的中空腔体，所述内衬与包裹内衬的外壳中间填充有保温材料，所述中空腔体的顶端设有还原剂进料管、氧化剂进料管和尾气出口，所述中空腔体的底端设有主、副产物出口管；其中，所述还原剂进料管与至少一个伸入腔体内部的还原剂喷嘴连接，所述氧化剂进料管与至少一个深入腔体内部的氧化剂喷嘴连接；所述中空腔体底部设有辅助加热器；其特征在于，所述氧化剂喷嘴伸入中空腔体的位置高于还原剂喷嘴，且所述还原剂喷嘴为自动旋转喷嘴，所述氧化剂喷嘴与气体分布盘连接，使得氧化剂经气体分布盘均匀分布后与旋转喷嘴喷出的还原剂雾化射流充分接触。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 节能 多晶 制备 装置 | ||
【主权项】：
一种高效节能的多晶硅制备装置，包括由反应器内衬和外壳限定的中空腔体，所述内衬与包裹内衬的外壳中间填充有保温材料，所述中空腔体的顶端设有还原剂进料管、氧化剂进料管和尾气出口，所述中空腔体的底端设有主、副产物出口管；其中，所述还原剂进料管与至少一个伸入腔体内部的还原剂喷嘴连接，所述氧化剂进料管与至少一个深入腔体内部的氧化剂喷嘴连接；所述中空腔体底部设有辅助加热器；其特征在于，所述氧化剂喷嘴伸入中空腔体的位置高于还原剂喷嘴，且所述还原剂喷嘴为自动旋转喷嘴，所述氧化剂喷嘴与气体分布盘连接，使得氧化剂经气体分布盘均匀分布后与旋转喷嘴喷出的还原剂雾化射流充分接触。
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