[实用新型]一种多点进料的多晶硅还原炉

摘要

本实用新型公开了一种多点进料的多晶硅还原炉，包括底座（1）及设置在底座（1）上的钟罩（2）和电极（3），每个电极（3）上都安装有一个粗硅芯载体（4），底座（1）下方还设有进料管（5）和尾气排出管（6）。本实用新型的有益效果是：通过一个耐高温、耐腐蚀的分配器将部分进料混合气接通至内外圈硅棒之间，在降低中心集中进料处温度的同时，还平衡了炉内各处原料混合气的浓度分布，避免了因局部温度低于工艺控制温度而引发大量副反应的发生，同时还能够达到降低能耗增加沉积速度的目标。本实用新型的进料管与尾气排出管内设计为套管换热形式，达到预热原料气的同时又降低后续尾气冷凝所需能量的目的。

主权项

一种多点进料的多晶硅还原炉，包括底座（1）和设置在底座（1）上的钟罩（2），底座（1）的上方设置有电极（3），每个电极（3）上都安装有一个粗硅芯载体（4），底座（1）下方设有进料管（5）和尾气排出管（6），其特征在于：所述的电极（3）呈圆周型排列，电极（3）排列成同心异径的内电极圈和外电极圈，所述的尾气排出管（6）设置在底座（1）中心位置的下部，其管口设置在钟罩（2）内，进料管（5）穿过尾气排出管（6）连通钟罩（2），进料管（5）的上端螺纹连接有一个分配器，分配器包括一个中心喷嘴（7）和以中心喷嘴（7）为圆心圆周排列的外喷嘴（9），外喷嘴（9）通过管道连杆（8）连接中心喷嘴（7），外喷嘴（9）位于内电极圈和外电极圈之间。