[实用新型]等离子平板显示器的氧化镁保护膜蒸镀装置有效
| 申请号： | 201120314508.0 | 申请日： | 2011-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN202187055U | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 何文香;周志锋;陈龙豪 | 申请（专利权）人： | 安徽鑫昊等离子显示器件有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 230011*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种等离子平板显示器的氧化镁保护膜蒸镀装置，包括：蒸镀室；设置在所述蒸镀室的底板上的第一转动轴，其上设置有盛放氧化镁靶材的坩埚；和设置在所述氧化镁靶材表面的挡板；还包括与所述挡板相连，且穿过所述蒸镀室的底板上的第二转动轴；设置在所述蒸镀室的底板上，且位于所述坩埚的边缘收集所述氧化镁靶材的掉渣的收集盒。相对于现有的采用坩埚不停地交替正反转将掉渣甩掉或者将掉渣转动到电子束光斑位置，然后加大电子束流的方式将掉渣蒸发掉，本实用新型提供的等离子平板显示器的氧化镁保护膜蒸镀装置减小了氧化镁保护膜蒸镀的工作量，进而提高了等离子平板显示器的氧化镁保护膜蒸镀的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 平板 显示器 氧化镁 保护膜 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子平板显示器的氧化镁保护膜蒸镀装置，包括：蒸镀室；设置在所述蒸镀室的底板(12)上的第一转动轴(11)，其上设置有盛放氧化镁靶材(15)的坩埚(13)；和设置在所述氧化镁靶材(15)表面的挡板(14)；其特征在于，还包括与所述挡板(14)相连，且穿过所述蒸镀室的底板(12)上的第二转动轴(18)；设置在所述蒸镀室的底板(12)上，且位于所述坩埚(13)的边缘收集所述氧化镁靶材(15)的掉渣(16)的收集盒(17)。
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