[实用新型]一种MOCVD系统及其中反应气体的排气装置

摘要

一种MOCVD系统及其中反应气体的排气装置，该排气装置包括排气环，在排气环中设置了容纳冷却液并使其流通的若干内部空槽，以及使反应区域内的反应气体贯穿所述排气环排出的结构。本实用新型在实现均匀排气的同时，设置连接排气环的至少两个连杆，在排气环与连杆中设置相连通的内部空槽供冷却液循环流通，实现对排气环的冷却；并且，该排气装置还包括外环部分，离开反应区域的反应气体沿着外环部分向下流动，有效减少MOCVD系统内壁上沉积物的产生；此外，在驱动装置的作用下，使排气环上升或下降对应控制该MOCVD系统中反应室与外部连通的通道的闭合和打开，方便机械手等经由该通道进入反应室来取放外延基片，实现自动化操作。

主权项

一种MOCVD系统中反应气体的排气装置，其特征在于，所述排气装置包含一环状的排气环（400），其在该MOCVD系统的反应室内环绕设置；所述排气环（400）设置有若干个内部空槽（412），以容纳冷却液并使冷却液在所述若干个内部空槽（412）内流动；所述排气环（400）还设置有贯穿该排气环（400）的结构，以使反应区域内的反应气体通过该贯穿结构排出。