[实用新型]一种排气装置有效
| 申请号： | 201120321525.7 | 申请日： | 2011-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN202224319U | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 夏俊东;徐锦宏;吴锦泽;邱柏诚;项达林;张飞 | 申请（专利权）人： | 苏州卫尔弘勒科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 傅靖 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种排气装置，应用于设有光阻瓶的半导体业光组喷涂机上，所述排气装置包括分别与所述光阻瓶相连通的进气管与出气管，所述出气管深入所述光阻瓶的底部，所述进气管高出所述出气管设置，所述进气管上还设置有进气阀；还包括控制所述进气阀启闭的控制装置；所述控制装置包括plc控制器、与所述进气阀电连接的电磁阀组、以及设置于所述出气管上的用于检测所述出气管内气体的传感器，所述传感器、电磁阀组分别与所述plc控制器电连接。通过传感器检测出气管内是否存在气体，并将信号传递给plc控制器，plc控制器通过控制电磁阀组对进气阀进行通断，保证光阻瓶中的气体能够彻底的排出，且排气速度较快，排气效率较高，减少光阻的浪费，成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 排气装置 | ||
【主权项】：
一种排气装置，应用于设有光阻瓶的半导体业光组喷涂机上，其特征在于，所述排气装置包括分别与所述光阻瓶相连通的进气管与出气管，所述出气管深入所述光阻瓶的底部，所述进气管高出所述出气管设置，所述进气管上还设置有进气阀；还包括控制所述进气阀启闭的控制装置；所述控制装置包括plc控制器、与所述进气阀电连接的电磁阀组、以及设置于所述出气管上的用于检测所述出气管内气体的传感器，所述传感器、电磁阀组分别与所述plc控制器电连接。
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