[实用新型]一种基于质量流量的气体浓度配比装置有效
| 申请号： | 201120324653.7 | 申请日： | 2011-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN202289890U | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 宋建辉;于鹏 | 申请（专利权）人： | 沈阳理工大学 |
| 主分类号： | B01F3/02 | 分类号： | B01F3/02;B01F15/04 |
| 代理公司： | 沈阳利泰专利商标代理有限公司 21209 | 代理人： | 李枢 |
| 地址： | 110159 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种基于质量流量的气体浓度配比装置包括控制单元、A/D转换器、D/A转换器、质量流量控制器、人机界面、触摸屏接口、气源。人机界面通过触摸屏接口与控制单元相连接，控制单元通过A/D转换器采集质量流量计输出的模拟量信号，控制单元将设定好的数值指令通过D/A转换器发送到质量流量计，将气源中的气体送入质量流量控制器，形成混合气体。本实用新型具有气体配比精度高、重复性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 质量 流量 气体 浓度 配比 装置 | ||
【主权项】：
一种基于质量流量的气体浓度配比装置，包括控制单元、A/D转换器、D/A转换器、质量流量控制器、人机界面、触摸屏接口、气源，其特征在于所述的人机界面通过触摸屏接口与控制单元相连接，控制单元通过A/D转换器采集质量流量计输出的模拟量信号，形成一个闭环控制，气源经管路连接质量流量控制器，形成混合气体。
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