[实用新型]带进料装置的多晶硅还原炉有效
| 申请号： | 201120329958.7 | 申请日： | 2011-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN202175564U | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 赵振元;罗明树;罗正 | 申请（专利权）人： | 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 成都中亚专利代理有限公司 51126 | 代理人： | 陈亚石 |
| 地址： | 610051 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带进料装置的多晶硅还原炉，包括有炉罩、底盘、加热碳棒、进料管和出料管，所述炉罩安装在底盘上，其中，所述进料管末端安装有进料装置。所述进料装置由数段导向圆筒构成，且导向圆筒分为正向导向圆筒和反向导向圆筒，所述正向导向圆筒内周面设置有正螺旋导向板，所述反向导向圆筒内周面设置有反螺旋导向板，正向导向圆筒与反向导向圆筒间通过法兰连接，且正向导向圆筒与反向导向圆筒呈交替连接方式连接。本实用新型结构简单，能使氢气与三氯氢硅充分混合以湍流的方式进入还原炉，将氢气与三氯氢硅因密度差造成的不均匀度降低到最低限度，使硅棒生长均匀，转化效率得以大大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 进料 装置 多晶 还原 | ||
【主权项】：
一种带进料装置的多晶硅还原炉，包括有炉罩（1）、底盘（2）、加热碳棒（3）、进料管（4）和出料管（5），所述炉罩（1）安装在底盘（2）上，其特征在于：所述进料管（4）末端安装有进料装置（6）。
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