[实用新型]一种用于卷绕镀膜机上的残余气体分析装置有效
申请号: | 201120332776.5 | 申请日: | 2011-09-06 |
公开(公告)号: | CN202210090U | 公开(公告)日: | 2012-05-02 |
发明(设计)人: | 郭东升 | 申请(专利权)人: | 南昌欧菲光科技有限公司 |
主分类号: | G01N27/62 | 分类号: | G01N27/62;C23C14/56 |
代理公司: | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人: | 施秀瑾 |
地址: | 330000 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种气体分析装置,尤其涉及一种用于卷绕镀膜机上的残余气体分析装置,属于真空镀膜领域与气体分析领域。它包括卷绕镀膜机中的放卷真空室、计算机,感应探头伸入到放卷真空室中,对展开后快速移动的PET卷材预处理后产生的气体进行及时的收集;感应探头另一端与计算机连接,与残余气体分析仪相连,通过软件将待测气体的质谱图显示出来,并与标准气体库进行对比,就可确定气体的成分和含量。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 卷绕 镀膜 残余 气体 分析 装置 | ||
【主权项】:
一种用于卷绕镀膜机上的残余气体分析装置,它包括卷绕镀膜机中的放卷真空室(2)、计算机(3),其特征在于:感应探头(1)伸入到放卷真空室(2)中,感应探头(1)另一端与计算机(3)连接。
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