[实用新型]一种陶瓷溅射靶有效
| 申请号： | 201120333536.7 | 申请日： | 2011-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN202208757U | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 孙宜华;吕鑫 | 申请（专利权）人： | 三峡大学;孙宜华;湖北三峡新型建材股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C04B37/02 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 成钢 |
| 地址： | 443002*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种陶瓷溅射靶，在陶瓷靶材一侧设有烧渗银层，背板层通过钎焊合金层以及烧渗银层与陶瓷靶材连接。所述的陶瓷靶材为氧化物烧结陶瓷。陶瓷靶材为AZO靶材、ITO靶材。本实用新型提供的陶瓷溅射靶，以氧化物烧结陶瓷为靶材，采用Sn－Zn－In－Bi四元合金或Sn－Zn－In三元合金为钎焊材料，陶瓷靶材连接面中温预烧渗极薄的银过渡层，实施陶瓷靶材与Cu或Cu合金背板的连接，能够低成本、高效率的生产，改善钎料润湿性，提高靶材与铜背板的连接性能，实现稳定溅射的溅射靶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 溅射 | ||
【主权项】：
一种陶瓷溅射靶，其特征在于：在陶瓷靶材（10）一侧设有烧渗银层（11），背板层（20）通过钎焊合金层（30）以及烧渗银层（11）与陶瓷靶材（10）连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三峡大学;孙宜华;湖北三峡新型建材股份有限公司，未经三峡大学;孙宜华;湖北三峡新型建材股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120333536.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
