[实用新型]多晶硅铸锭炉测温装置有效
| 申请号： | 201120333839.9 | 申请日： | 2011-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN202247005U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 朱卫峰;袁华均;傅建根;来迪文;孙力峰 | 申请（专利权）人： | 浙江精功新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 绍兴市越兴专利事务所 33220 | 代理人： | 蒋卫东 |
| 地址： | 312030 浙江省绍兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 多晶硅铸锭炉测温装置包括热电偶、石墨立柱、热交换台、下炉体凸台、管夹、石墨坩埚底板，在支撑炉体的数根石墨立柱的其中之一沿轴心线打贯通孔，在管孔中设置热电偶，热电偶穿过加热板的通孔，顶部接触石墨坩埚底板，热电偶底部通过管夹固定在下炉体凸台上，热电偶传递数据的线路从石墨立柱管孔下部接出。本实用新型的好处是：把热电偶从单独悬空安装，移动到石墨立柱管孔中安装后，由于石墨立柱外壳的保护，所以铸锭操作不会对热电偶套管产生磕碰；而且热电偶处在石墨立柱厚厚的管壁包裹中，不受外界热场温度的影响，测温精度高，对提高硅锭质量影响甚大。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 测温 装置 | ||
【主权项】：
多晶硅铸锭炉测温装置，包括热电偶、石墨立柱、热交换台、下炉体凸台、管夹、石墨坩埚底板，其特征在于：在支撑炉体的数根石墨立柱的其中之一沿轴心线打贯通孔，在管孔中设置热电偶，热电偶穿过热交换台的通孔，顶部接触石墨坩埚底板，热电偶底部通过管夹固定在下炉体凸台上，热电偶传递数据的线路从石墨立柱管孔下部接出。
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