[实用新型]一种管式PECVD防撞设备有效
| 申请号： | 201120342974.X | 申请日： | 2011-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN202226918U | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 陈辉;胡东明;周天贤 | 申请（专利权）人： | 江阴鑫辉太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50 |
| 代理公司： | 江阴市永兴专利事务所(普通合伙) 32240 | 代理人： | 达晓玲;詹世平 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种管式PECVD防撞设备，包括机械抓手（1）和暂存区（3），其特征是：在暂存区（3）内安装石墨舟检测开关（4），石墨舟检测开关（4）与远程装置（5）连接。本实用新型的一种管式PECVD防撞设备，可以检测管式PECVD的暂存区内是否存在石墨舟，避免石墨舟撞毁。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 设备 | ||
【主权项】：
一种管式PECVD防撞设备，包括机械抓手（1）和暂存区（3），其特征是：在暂存区（3）内安装石墨舟检测开关（4），石墨舟检测开关（4）与远程装置（5）连接。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
