[实用新型]蓝宝石晶体生长装置有效
申请号: | 201120345683.6 | 申请日: | 2011-09-15 |
公开(公告)号: | CN202247012U | 公开(公告)日: | 2012-05-30 |
发明(设计)人: | 李留臣;冯金生 | 申请(专利权)人: | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/30 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 213200 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种蓝宝石晶体生长装置,包括安装在坩埚轴上端的坩埚,坩埚周围设置有加热器,坩埚上方设置有籽晶杆,籽晶杆的下端连接有籽晶;坩埚、加热器、籽晶、籽晶杆都处在真空室内,真空室设置有抽真空装置,给坩埚轴设置有一套用于上下移动的移动装置和一套用于转动的传动装置,给籽晶杆同样设置有一套用于上下移动的移动装置和一套用于转动的传动装置,所有移动装置、传动装置、加热器、抽真空装置均与控制器连接。本实用新型的装置,能够保证生长环境中温度的均匀性、对称性,晶体的生长效果好,生长晶体的质量得到明显提高。 | ||
搜索关键词: | 蓝宝石 晶体生长 装置 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石晶体生长装置,其特征在于:包括安装在坩埚轴(1)上端的坩埚(3),坩埚(3)周围设置有加热器(5),坩埚(3)上方设置有籽晶杆(8),籽晶杆(8)的下端连接有籽晶(7);坩埚(3)、加热器(5)、籽晶(7)、籽晶杆(8)都处在真空室(2)内,真空室(2)设置有抽真空装置,给坩埚轴(1)设置有一套用于上下移动的移动装置和一套用于转动的传动装置,给籽晶杆(8)同样设置有一套用于上下移动的移动装置和一套用于转动的传动装置,所有移动装置、传动装置、加热器(5)、抽真空装置均与控制器连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏华盛天龙光电设备股份有限公司,未经江苏华盛天龙光电设备股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201120345683.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。