[实用新型]一种二氯二氢硅和四氯化硅预混合储存装置有效

专利信息
申请号: 201120350348.5 申请日: 2011-09-19
公开(公告)号: CN202265419U 公开(公告)日: 2012-06-06
发明(设计)人: 肖建忠;武华;王体虎 申请(专利权)人: 亚洲硅业(青海)有限公司
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107;C01B33/03
代理公司: 西宁工道知识产权代理事务所 63102 代理人: 全宏毅
地址: 810007 青海省西宁*** 国省代码: 青海;63
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摘要: 实用新型涉及多晶硅生产中一种二氯二氢硅和四氯化硅预混合储存装置。本实用新型采取的技术方案为:管道(4)和管道(5)与混合器(6)相连,混合器(6)通过管道(7)和阀Ⅰ(15)与储罐(2)相连,氮气罐(3)通过管道(8)和阀Ⅱ(14)与储罐(2)相连,管道(9)通过压力自控阀(13)与储罐(2)相连,压力表(10)通过阀Ⅲ(12)和管道(11)与储罐(2)相连,管道(16)通过阀Ⅳ(1)与储罐(2)相连。本实用新型有效的避免了低沸物二氯二氢硅发生爆炸的可能性,为多晶硅生产提供了安全保障,结构简单,操作方便,降低多晶硅生产中的能耗。
搜索关键词: 一种 二氯二氢硅 氯化 混合 储存 装置
【主权项】:
一种二氯二氢硅和四氯化硅预混合储存装置,其特征在于管道(4)和管道(5)与混合器(6)相连,混合器(6)通过管道(7)和阀Ⅰ(15)与储罐(2)相连,氮气罐(3)通过管道(8)和阀Ⅱ(14)与储罐(2)相连,管道(9)通过压力自控阀(13)与储罐(2)相连,压力表(10)通过阀Ⅲ(12)和管道(11)与储罐(2)相连,管道(16)通过阀Ⅳ(1)与储罐(2)相连。
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