[实用新型]一种适用于多尺寸晶圆的清洗槽有效
| 申请号： | 201120354604.8 | 申请日： | 2011-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN202238771U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 边永智;宁永铎;徐继平;张静;杜娟 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 程凤儒 |
| 地址： | 100088 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种适用于多尺寸晶圆的清洗槽，包括槽体和升降平台，该槽体内设有数个晶圆承载平台，每个晶圆承载平台上设有数个等距离排布的凹槽；该槽体的外壁上设有两组超声振子，该两组超声振子相对设置，位于承载平台的两侧；所述升降平台包括支撑升降部分和台面部分，该台面部分的台面上设有用来承载花篮的定位凹槽。该清洗槽在晶圆清洗过程中，晶圆与花篮完全脱离，最大限度地降低了超声波衰减，提高了晶圆清洗均匀性，提高了晶圆清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 尺寸 清洗 | ||
【主权项】：
一种适用于多尺寸晶圆的清洗槽，其特征在于：包括槽体和升降平台，该槽体内设有数个晶圆承载平台，每个晶圆承载平台上设有数个等距离排布的凹槽；该槽体的外壁上设有两组超声振子，该两组超声振子相对设置，位于承载平台的两侧；所述升降平台包括支撑升降部分和台面部分，该台面部分的台面上设有用来承载花篮的定位凹槽。
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