[实用新型]超高纯锗单晶炉坩埚杆有效
申请号: | 201120366140.2 | 申请日: | 2011-09-29 |
公开(公告)号: | CN202297857U | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 白尔隽;孙慧斌;赵海歌 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及探测器级的超高纯锗单晶拉制设备,具体是指一种超高纯锗单晶炉坩埚杆,其包括石英坩埚、石英坩埚托以及底部的坩埚杆,所述坩埚杆为高纯石英件,其顶部设坩埚杆顶螺纹,石英坩埚托底部对应设有坩埚托螺纹将石英坩埚托与坩埚杆连接,所述坩埚杆底部连接至炉膛底座。本实用新型可直接应用于高纯锗单晶炉内,用石英坩埚杆来替代部分金属钼杆,并采用螺纹拧结的方式连接各部件,避免采用金属连接件,尽可能减少或杜绝金属件进入单晶炉膛内,防止金属件受炉膛内高温区及电源的中高频的影响而散发杂质影响单晶纯度。 | ||
搜索关键词: | 高纯 锗单晶炉 坩埚 | ||
【主权项】:
超高纯锗单晶炉坩埚杆,包括石英坩埚(1)、石英坩埚托(2)以及底部的坩埚杆(3),其特征在于,所述坩埚杆(3)为高纯石英件,其顶部设坩埚杆顶螺纹(5),石英坩埚托(2)底部对应设有坩埚托螺纹(4)将石英坩埚托(2)与坩埚杆(3)连接,所述坩埚杆(3)底部连接至炉膛底座。
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