[实用新型]抛光液挡板有效
| 申请号： | 201120374836.X | 申请日： | 2011-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN202240852U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 路新春;许振杰 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种抛光液挡板，所述抛光液挡板包括：本体，所述本体为环形，所述本体上间隔开地设有多个容纳槽，其中每个所述容纳槽沿竖直方向延伸且下端敞开。根据本实用新型的抛光液挡板通过设置多个沿竖直方向延伸的所述容纳槽，从而可以容纳多个外套筒。在进行化学机械抛光时，所述抛光液挡板可以挡住飞溅出来的抛光液，并可以使抛光液沿所述抛光液挡板的本体的内表面流下以便集中排放，从而不会污染抛光环境。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 挡板 | ||
【主权项】：
一种抛光液挡板，其特征在于，包括：本体，所述本体为环形，所述本体上间隔开地设有多个容纳槽，其中每个所述容纳槽沿竖直方向延伸且下端敞开。
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