[实用新型]一种改进的太阳能电池片PECVD设备有效
| 申请号： | 201120382400.5 | 申请日： | 2011-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN202736889U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 林国春;许新湖;梁兴芳 | 申请（专利权）人： | 阳光大地（福建）新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/205 | 分类号： | H01L21/205;H01L31/18 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 李秀梅 |
| 地址： | 362300 福建省泉*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种改进的太阳能电池片PECVD设备，包括有反应腔室，该反应腔室包括有附尘槽及供气装置，该供气装置包括有特气管道及固定于所述附尘槽上的设有气体喷淋小孔的气体喷淋管，该气体喷淋管与特气管道相连通，所述气体喷淋管上附有一可拆卸的附尘板，该附尘板上设有与所述气体喷淋管上的气体喷淋小孔相对应的相同孔径的附尘孔，该附尘孔与气体喷淋管上与其相对应的气体喷淋小孔相重合。本实用新型可保证在对样品表面沉积形成固态薄膜的过程中，Si3N4会附着于附尘板的附尘孔上，不会对气体喷淋小孔堵塞，需要清理时，可直接将附尘板拆卸下来进行通孔，降低了通孔难度，减少了保养所需时间，可提高产量，降低成本，给企业带来更好的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进 太阳能电池 pecvd 设备 | ||
【主权项】：
一种改进的太阳能电池片PECVD设备，包括有反应腔室，该反应腔室包括有附尘槽及供气装置，该供气装置包括有特气管道及固定于所述附尘槽上的设有气体喷淋小孔的气体喷淋管，该气体喷淋管与特气管道相连通，其特征在于：所述气体喷淋管上附有一可拆卸的附尘板，该附尘板上设有与所述气体喷淋管上的气体喷淋小孔相对应的相同孔径的附尘孔，该附尘孔与气体喷淋管上与其相对应的气体喷淋小孔相重合。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
