[实用新型]一种用于西门子法生产多晶硅的还原电极棒有效
| 申请号： | 201120384046.X | 申请日： | 2011-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN202246088U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 邱健源;王勃;黄兰香 | 申请（专利权）人： | 东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 钱成岑;吴彦峰 |
| 地址： | 614200 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于西门子法生产多晶硅的还原电极棒，涉及西门子法生产多晶硅领域，包括电极棒本体，还包括设于电极棒本体表面的防氧化镀层。本实用新型是一种可防止还原生产用电极棒的接触表面铜氧化的电极棒。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 西门子 生产 多晶 还原 电极 | ||
【主权项】：
一种用于西门子法生产多晶硅的还原电极棒，包括电极棒本体，其特征在于：还包括设于电极棒本体表面的防氧化镀层。
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