[实用新型]半导体有机清洗设备的供水系统有效
| 申请号： | 201120384348.7 | 申请日： | 2011-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN202238722U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 徐国军;刘明 | 申请（专利权）人： | 康可电子（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/00 | 分类号： | B08B3/00 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陈忠辉 |
| 地址： | 214142 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了一种半导体有机清洗设备的供水系统，该供水系统的组成包括用于回收清洗废水的加热水箱，与加热水箱排放管相连的清洗泵，以及从清洗泵连至工艺腔的出水管路，其中加热水箱中设有与其中贮水直接接触的电磁加热系统，且加热水箱中设有测量范围高于60℃的水温采集装置。通过自动阶梯式的电磁加热保持水质，并且该加热水箱还一个多套系统共用。应用本实用新型的技术方案，可以在满足半导体清洗所用超纯水要求下，省却传统系统的多个过滤器及电阻率测量装置，从而节省了可观的加工成本，大大增加了设备正常运行的时间。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 有机 清洗 设备 供水系统 | ||
【主权项】：
半导体有机清洗设备的供水系统，其特征在于：所述供水系统的组成包括用于回收清洗废水的加热水箱，与加热水箱排放管相连的清洗泵，以及从清洗泵连至工艺腔的出水管路，其中所述加热水箱中设有与其中贮水直接接触的电磁加热系统，且所述加热水箱中设有测量范围高于60℃的水温采集装置。
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