[实用新型]光刻胶涂布机承载系统及具有该系统的光刻胶涂布机有效
| 申请号： | 201120387170.1 | 申请日： | 2011-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN202257027U | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | 张志豪 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 欧阳启明 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种光刻胶涂布机，包括由顶板和底板组成的容纳空间以及设置在容纳空间内的支撑针以及承载托盘，支撑针与承载托盘连接，光刻胶涂布机还包括设置在所述容纳空间内用于自动调整承载托盘高度的调整机构；调整机构与承载托盘连接。本实用新型还涉及一种光刻胶涂布机承载系统。本实用新型的光刻胶涂布机承载系统及相应的光刻胶涂布机调整操作简单，调整精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 胶涂布机 承载 系统 具有 | ||
【主权项】：
一种光刻胶涂布机承载系统，其特征在于，包括承载托盘以及用于自动调整所述承载托盘高度的调整机构，所述调整机构与所述承载托盘连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201120387170.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种骨折外固定支架
- 下一篇：红外球型摄像机散热装置
